Laserlithografie

Die Laserlithografie erobert die Halbleiterproduktion – neuer Nanowerkstoff erzeugt

Integrierte Schaltungen wurden bisher mit der sogenannten Fotolithografie hergestellt – Laser vereinfacht das Verfahren und schafft neue Möglichkeiten

Bei der Fotolithografie wird durch die Belichtung das Bild einer Fotomaske auf einen lichtempfindlichen Lack projiziert. Mit Hilfe von Chemikalien werden anschließend – je nach Verfahren – die belichteten oder unbelichteten Stellen des Fotolacks aufgelöst. So entsteht eine lithografische Maske, die als Grundlage für integrierte Schaltungen dient. Die Laserlithografie sorgt durch die Energie des Laserstrahls dafür, dass die gewünschten Bereiche im Fotolack aushärten. Durch die Entwicklung hocheffizienter Laserlithografie Systeme erreicht die Chipfertigung eine neue Stufe.

Gepulste CO2-Laser für die Laserlithografie

Neue technische Entwicklungen im Bereich der CO2-Laser machen es möglich, die Pulsspitzenleistung auf mehrere Megawatt zu bringen. Damit wird der Einsatz in der Laserlithografie möglich. Und die Entwicklung geht noch weiter: Durch Laserlithografie und anschließende Pyrolyse haben Forscher einen neuen Werkstoff geschaffen: Es handelt sich um ein sogenanntes Metamaterial, das sein Vorbild in der Natur hat. Knochenstrukturen oder Holz vereinen hohe Festigkeit bei gleichzeitig verhältnismäßig geringem Gewicht. Die Metamaterialien werden mit ähnlicher Struktur im Mikrometerbereich geplant und hergestellt. So können sie optische oder mechanische Eigenschaften aufweisen, die unstrukturierte Feststoffe nicht erreichen können. Für den neuen Nanowerkstoff wurde mit Hilfe der 3D Laserlithografie die gewünschte, nur mikrometergroße Struktur in Fotolack übertragen. Um eine weitere Verkleinerung zu erreichen, ließen die Forscher die Struktur durch Pyrolyse schrumpfen und verglasten das Gitter, dessen Streben einen Durchmesser von 0,2 Mikrometern haben.

Die auf diese Weise hergestellten mikrostrukturierten Materialen finden Anwendung zur Isolation, als Stoßdämpfer oder als Filter in der chemischen Industrie. Doch auch die optischen Eigenschaften der Mikromaterialien sind interessant für die Telekommunikation. Mikrostrukturierter Glaskohlenstoff vereint die keramischen Eigenschaften von Glas mit denen des Graphits und kann als Werkstoff in Elektroden von Batterien oder auch in Elektrolyseanlagen eingesetzt werden.

Für weitere Informationen zu den Laserstrahlanlagen von gKteso schicken Sie eine Mail an info@gkteso.de.

  • gKteso Kontakt
    • gKteso GmbH
    • Hans-Böckler-Straße 3
    • D 86399 Bobingen, Germany

    • phone: +49 8234 966 38 41
    • fax: +49 8234 966 38 47
    • mail: info@gkteso.de