Laser Annealing

Laser Annealing: Tiefenaktivierung von Implants

Sie sind aus der Mikroelektronik, Photovoltaik oder Mikrosystemtechnik nicht mehr wegzudenken – die sogenannten Wafers

Als Wafer – der englische Begriff für „Waffel“ werden etwa einen Millimeter dünne Scheiben bezeichnet. Sie werden aus Halbleiter-Rohlingen gefertigt und in der Regel mit dem Laser in Form geschnitten. Ein Wafer dient als Grundplatte für elektronische Bauelemente oder für photoelektrische Beschichtungen. Zur Vorbereitung weiterer Arbeitsschritte werden die Wafer „dotiert“, das heißt geladene Ionen werden in einem elektrischen Feld beschleunigt und auf die Wafer gelenkt. So werden sie mit Ionen Implantaten versehen und damit ihre elektrischen Eigenschaften beeinflusst. Laser Annealing bezeichnet das Verfahren, mit dem diese Ionen Implants aktiviert werden können. Das Laser Annealing hat gegenüber herkömmlichen Verfahren, wie beispielsweise dem Ofenprozess, Vorteile. So wird beim Laser Annealing die Schutzfolie auf der Vorderseite der Wafer nicht beschädigt, weil die Wärmebelastung nur gering ist. Darüber hinaus hat das Laser Annealing den Vorteil, dass eine gleichmäßige Tiefenaktivierung der Implants erfolgt. Die inhomogene Temperaturverteilung beim Ofenverfahren führt zu einer niedrigen Aktivierung der Implants. Darüber hinaus wird Laser Annealing genutzt, um amorphe Oberflächen von Halbleitern zu rekristallisieren. Das Verfahren ist damit besonders in der Mikroelektronik gefragt, um Halbleiter zu rekristallisieren, die zuvor bei der Ionen-Implantation amorphisiert wurden.

Flachbildschirme für mobile Endgeräte werden erst durch Lasertechnologie möglich

Das Verfahren, mit dem polykristallines Silizium für Flachbildschirme auf Glas aufgebracht wird, kann bald auch auf Folien eingesetzt werden. Möglich werden dann unzerbrechliche Bildschirme – vielleicht also ein mobiles Endgerät, das sich einfach zusammenrollen und in die Tasche stecken lässt, aber auf jeden Fall unzerbrechlich ist. Denkbar werden diese Entwicklungen dank der Fortschritte in der Laser-Technologie, die mit dem Laser Annealing wesentlich am Kristallisierungsprozess für die Diplays beteiligt ist.

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